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  • Hestia:全自动等离子处理系统
  • ag水果商店圣诞版是面向工业级客户使用需求设计的自动化等离子处理设备, 适用于等离子清洗、活化以及等多种应用。


Hestia  标准技术规格
设备尺寸宽*深*高2020W*1250D*1610H mm( 含灯塔高2015mm)
腔体容积6L
电极电极尺寸334W x 432Dmm
射频系统射频功率及频率600W/13.56MHz
气体控制气路配置标配两路 / 最多可扩充至4路气体
真空泵标准配置80m³/h 干泵
干泵吹扫氮气流量5-25L/min
厂务要求供电要求380V,25A,50Hz,3-Phase,5-Wire
工艺气体接口及尺寸1/4英寸卡套接口
工艺气体种类及纯度

ag水果商店圣诞版CF4 = 99.97%; O2 = 99.996%;  N2 = 99.99%;

Ar = 99.999%;  其余气体请咨询sonovorr

工艺气体压力15-30 psig
吹扫气体接口及尺寸1/4英寸卡套接口
吹扫气体种类及纯度N2=99.99%
吹扫气体压力15-30 psig
气动用接口及尺寸外径8mm PU软管
气动用气体及压力CDA, 60~90 psig
排气口接口及尺寸KF40
环境温度15-30 ℃
相对湿度40~60%